微纳波导器件的热稳定性多物理场耦合测试方法及系统

本发明公开了一种微纳波导器件的热稳定性多物理场耦合测试方法及系统，属于微纳波导器件检测技术领域，其技术方案要点是包括，获取多组脉冲数据，每组脉冲数据对应一脉冲能量；对于每组脉冲数据，根据反射光强信号和光斑位置信号，得到热弛豫时间和峰值温升；根据热弛豫时间、峰值温升和热扩散模型，得到热扩散系数和局部热阻，热扩散模型包括双曲型热传导方程、近场表面效应公式和远场索末菲辐射条件；根据热扩散系数和局部热阻，得到微纳波导器件在不同脉冲能量下的热稳定性结果，本发明采用纳秒级脉冲激光作为热源，通过反射率变化间接测量温度，确保在微米/纳米尺度下准确获取局部温度信号，满足小尺寸结构瞬态响应快的测量需求。