摘要
本发明涉及波导器件设计仿真技术领域,具体涉及一种图形占空比设计方法、系统。包括步骤:获取待仿真对象的一类约束条件,待仿真对象内设置有至少一个第一波导图案,一类约束条件包括:第一波导图案的图形占空比;根据待仿真对象的类型选择二类约束条件,二类约束条件包括用于描述待仿真对象的规格的辅助参数;根据一类约束条件和二类约束条件构建仿真约束模型;采用电磁学仿真方法对仿真约束模型进行至少一个轮次的仿真,以得到仿真约束模型的设计评估结果,设计评估结果包括:用于定义待仿真对象的光学性能的至少一个仿真解。本发明选择对图形占空比进行优化设计,以减小波导器件在纳米压印过程中的工艺实施难度。
技术关键词
占空比设计方法
波导
对象
图案
仿真方法
多相介质
设计系统
参数
定义
损耗
模块
纳米
理论
算法