一种芯片批量检测系统及方法

本发明为一种芯片批量检测系统及方法，涉及计算机处理技术领域，包括：图像采集处理模块，其用于采集芯片阵列图像，对所述芯片阵列图像进行通道特征提取，得到芯片掩膜；图像辨识模块，其利用预设尺寸的滑动窗口对所述芯片掩膜进行遍历后，得到所述芯片掩膜的局部图像块；图像深层处理模块，其采用预设第一卷积神经网络预测所述芯片掩膜的局部图像块的缺陷概率，得到所述芯片阵列图像的缺陷热力图，对所述缺陷热力图进行阈值分割处理后，选择满足预设缺陷标准的区域作为待检芯片区域；判断模块，其针对所述待检芯片区域进行定位和分割，得到芯片级检测结果。该发明实现对芯片的批量化检测效率，并提高了检测结果辨识率。