高精密导轨侧母线直线度检测方法、系统、终端及介质

本发明公开了高精密导轨侧母线直线度检测装置、方法、终端及介质，所述装置包括：MEMS惯性测量单元、信号处理模块、主控单元以及显示模块。所述MEMS惯性测量单元包括三轴加速度计和三轴陀螺仪；所述信号处理模块用于对所述MEMS惯性测量单元输出的模拟信号进行放大、降噪处理，并转换为数字信号进行传输；所述主控单元用于执行数据融合算法和四元数转换程序、采用滤波算法消除测量噪声以及执行交互操作；所述显示模块用于实时显示航向角与直线度误差曲线。本发明解决了铅垂面基准缺失难题，实现了便携、高效的导轨直线度测量，相比于激光干涉仪操作更加便捷，降低了成本，用于机床导轨、光学平台等精密装备的侧母线现场检测。