摘要
本发明涉及光学元件领域,具体涉及一种高精密强激光光学镜片的镀膜方法。镀膜方法包括以下步骤:步骤1、基底预处理;步骤2、表面活化;步骤3、准备阶段;步骤4、镀膜处理;步骤5、后处理。本发明的方法通过双等离子体协同和自适应梯度复合镀膜技术的融合,解决了强激光镜片镀膜中的附着力、均匀性、抗损伤等传统方法存在的问题。本发明的方法可针对不同激光场景定制化生产,适用于高能激光工业、量子计算、红外成像等高端领域。
技术关键词
激光光学镜片
镀膜方法
等离子体协同
电子回旋共振等离子体
X射线反射仪
真空紫外
补偿热变形
卷积神经网络模型
非晶碳化硅
消除残余应力
基底
纳米孔阵列
膜厚误差
金属过渡层
原位
膜料
交变电场
镀膜技术
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