一种微电子芯片水冷散热装置及散热方法

本发明公开了一种微电子芯片水冷散热装置及散热方法，属于，包括冷却水循环系统和散热系统，散热系统包括铜板和亚克力板，铜板底部开设有冷却水道，亚克力板上开设有进水主管、进水支管、进水通道、出水通道、出水支管和出水主管，进水主管与进水支管连通，进水支管与进水主管垂直，进水支管与进水通道连通，进水通道与冷却水道连通，冷却水道与出水通道连通，出水通道与出水支管连通，出水支管与出水主管连通。本发明采用上述的一种微电子芯片水冷散热装置及散热方法，亚克力板之间的水道结构可以实现冷却水的均匀覆盖，可以避免冷却水进入铜板后直接进行热量交换造成热交换不均；设置起泡器和负压气泵可以实现气液混合降温，提高散热效率。