摘要
本发明涉及半导体制造技术领域,公开了一种视觉检测的自适应参数优化与调节系统,包括:图像采集与特征提取模块;参数离散化模块;差分隐私保护模块和参数聚合与优化模块。本发明使用了量子退火启发的参数空间离散化技术,将连续的检测参数映射到有限的离散能量态,使得差分隐私噪声只影响状态转移概率而不直接作用于参数值,从而克服了传统差分隐私保护在连续空间添加噪声导致检测精度严重下降的因素,解决了分布式环境下视觉检测参数优化的隐私保护与精度保持的矛盾问题,通过同态加密的联邦聚合,各工厂能够在不暴露原始参数梯度的情况下共享优化信息。
技术关键词
差分隐私保护
调节系统
斯托克斯参数
偏振光
转移概率矩阵
视觉
系统对晶圆
拉普拉斯噪声
特征提取模块
模拟退火算法
小波多尺度分析
直方图均衡化算法
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