一种含可以连续旋转升降机构的气浮升降旋转平台

本发明属于半导体制造设备领域，具体涉及一种含可以连续旋转升降机构的气浮升降旋转平台。该平台集成旋转机构与升降机构，旋转机构采用气浮轴承实现无摩擦旋转，升降机构通过一号音圈电机驱动气浮轴在直线导轨上精准升降。通过气浮轴承分离旋转与升降运动，实现运动解耦，避免内部线缆缠绕。平台采用气缸预顶升与二号音圈电机精调的分级驱动策略，兼具高速响应与微米级定位精度，适用于晶圆检测中需同步旋转升降的精密扫描场景，有效提升检测效率和可靠性。