摘要
本发明公开了单颗芯片、单颗芯片的制备方法及其封装结构,通过该方法制备形成背面具有凹陷部的单颗芯片,凹陷部呈圆弧状,凹陷部表面设有金属层;单颗芯片正面为功能区,单颗芯片正面设有焊点。本发明还公开了包括背面具有凹陷部的单颗芯片的封装结构。本发明能够实现芯片背面差异化减薄与金属化工艺,芯片背面减薄后,芯片正面的功能区减少硅层厚度,可以有效改善产品的导通电阻参数指标,同时其芯片背部部分区域又保留了一定硅层厚度,可以有效保障产品的内部结构支撑的问题。
技术关键词
芯片
封装结构
干法刻蚀工艺
正面
物理气相沉积方法
绝缘胶层
包封
焊点
金属化工艺
半导体晶圆
光刻掩膜
载板
圆弧状
镀膜
层材料
电路
指标
电阻
环形