一种主动隔振控制方法及系统

本发明提出一种主动隔振控制方法及系统，属于隔振技术领域。首先采集超精密设备的振动信息并进行预处理，然后在多核控制系统中将预处理后的振动信息数据输入矩形积分PID算法得到PID输出，再基于所述PID输出控制执行器进行响应以产生反向振动信号；最后获得超精密设备的隔振后振动误差以确定调整矩形积分PID算法或停止主动隔振控制。本发明的主动隔振控制方法使用多核控制系统，能够提升系统响应速度，兼容更加复杂的控制系统；同时矩形积分PID算法提升了大载荷主动隔振的效果，兼顾了主动隔振系统的算法执行效率和系统响应速度。