不等臂独立式真空机械手的控制方法

本发明提供了一种不等臂独立式真空机械手的控制方法，包括：S1：所述真空机械手根据上位机发送的指令并结合示教好的工位位置，来设置对应的控制模式，其中，所述控制模式包括单取单放、多取多放以及交叉取放；S2：根据所选控制模式和所述工位位置，规划得到运动轨迹；S3：通过正向或反向运动学算法，将机械手关节坐标系与电机坐标系进行变换，对所述运动轨迹进位置点解耦；S4：所述真空机械手根据解耦的位置点，按照所述运动轨迹传送晶圆。本发明在晶圆传输过程中，真空机械手支持多种传送方式，包括单机械臂组件取放片、双机械臂组件同时取放片、双机械臂组件交叉取放片，最大程度去提升机械手的传片效率。