一种集成式微型光声光谱气体传感器及制备方法

本发明公开了一种集成式微型光声光谱气体传感器及其制备方法，本光声光谱气体传感器包括信息层，形成于所述信息层上的平铺层，形成于所述平铺层上的电源层以及形成于所述电源层上的功能层，功能层包括光源驱动板、可调制光源、光电探测器、拾音器，功能层上各部件被包含在光声池外壳内。信息层包括电源管理芯片、微控制器以及通信模块。光源驱动板驱动可调制光源发出红外激光，气体吸收光产生声信号，光声探测器用于对目标气体被红外激光照射后产生的声波信号进行探测，拾音器处理声信号对目标气体进行检测，电源管理芯片供电，微控制器融合信号并计算浓度，结果通过通信模块传输，实现气体检测。具有集成化、微型化、精度高、抗干扰、智能互联的优势。