一种半导体器件的封装控制方法及系统

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一种半导体器件的封装控制方法及系统
申请号:CN202511357990
申请日期:2025-09-23
公开号:CN120854281B
公开日期:2025-12-09
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种半导体器件的封装控制方法及系统,涉及半导体技术领域,所述方法包括:以基于封装基板的芯片3D堆叠,在半导体封装平台执行第一部署决策和第二部署决策,确定器件封装模式;采用对称加工控制方式,确定第一微孔对,触发微控制器,执行封装参控决策;根据芯片封装平台与封装设备的交互,执行第一封装参数的微孔对加工驱动,针对封装全周期执行基于微孔对的轮询加工与层间临时键合。通过本申请解决了现有技术中由于热膨胀系数失配和加工应力累积,导致半导体封装产生应力集中并引发微裂纹,进一步影响了半导体封装结构稳定性的技术问题,通过对称加工控制,基于微孔对轮询加工与层间临时键合,提高了半导体封装结构的稳定性。
技术关键词
封装控制方法 半导体封装平台 半导体器件 封装芯片 器件封装 堆叠布局 微控制器 封装控制系统 决策 半导体封装结构 芯片封装 芯片堆叠 封装设备 参数 封装基板 热膨胀系数失配 支路 周期 模式
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