摘要
本申请提供了一种半导体器件的封装控制方法及系统,涉及半导体技术领域,所述方法包括:以基于封装基板的芯片3D堆叠,在半导体封装平台执行第一部署决策和第二部署决策,确定器件封装模式;采用对称加工控制方式,确定第一微孔对,触发微控制器,执行封装参控决策;根据芯片封装平台与封装设备的交互,执行第一封装参数的微孔对加工驱动,针对封装全周期执行基于微孔对的轮询加工与层间临时键合。通过本申请解决了现有技术中由于热膨胀系数失配和加工应力累积,导致半导体封装产生应力集中并引发微裂纹,进一步影响了半导体封装结构稳定性的技术问题,通过对称加工控制,基于微孔对轮询加工与层间临时键合,提高了半导体封装结构的稳定性。
技术关键词
封装控制方法
半导体封装平台
半导体器件
封装芯片
器件封装
堆叠布局
微控制器
封装控制系统
决策
半导体封装结构
芯片封装
芯片堆叠
封装设备
参数
封装基板
热膨胀系数失配
支路
周期
模式