一种激光雷达装置以及待测物体的表面形貌测量方法

本发明公开了一种激光雷达装置以及待测物体的表面形貌测量方法，涉及激光雷达技术领域。激光雷达装置包括：参考干涉模块、测量干涉模块和主控模块；参考干涉模块包括参考光电转换单元和参考扫描单元；测量干涉模块包括测量光电转换单元和测量扫描单元；主控模块用于控制参考扫描单元和测量扫描单元同步移动；参考光电转换单元用于发射参考激光信号，并根据参考扫描单元反馈的参考检测光信号，生成参考检测电信号；测量光电转换单元用于发射测量激光信号，并根据测量扫描单元反馈的测量检测光信号，生成测量检测电信号；主控模块还用于根据参考检测电信号和测量检测电信号，确定待测物体的表面形貌。本发明提升了表面形貌测量的测量面积以及精度。