一种基于图像处理的氧化镓晶体管缺陷检测方法及系统

本发明公开了一种基于图像处理的氧化镓晶体管缺陷检测方法及系统，涉及图像处理技术领域，方法包括：获取氧化镓晶体管的缺陷图像；对缺陷图像进行图像处理；对图像处理后的缺陷图像进行特征提取；计算缺陷图像特征的模糊隶属度；以缺陷图像特征的分布中心为原点，以缺陷图像特征的分布范围为半径，构建超球体；构建有关超球体的目标函数和约束条件；在约束条件的约束下，以最小化目标函数为目标，确定最优超球体参数；根据最优超球体参数，构建决策函数；获取待检测氧化镓晶体管的图像特征；通过决策函数，对氧化镓晶体管进行缺陷检测，得到缺陷检测结果；本发明能够在复杂和噪声较多的环境下稳定工作，确保缺陷检测的稳定性和可靠性。