摘要
本发明提供一种芯片托盘检测系统及方法,涉及半导体检测领域,芯片托盘检测系统包括:基座,基座包括码放区域以及围绕码放区域的检测区域,码放区域用以码放芯片托盘;至少一个检测模块,设置于检测区域,检测模块包括沿芯片托盘的码放方向间隔设置的多个第一检测端子,每个第一检测端子均具有触发状态和非触发状态,码放的芯片托盘能够触发对应位置的第一检测端子由非触发状态切换为触发状态;检测部,与第一检测端子信号连接,检测部用于根据第一检测端子的状态确定码放的芯片托盘的数量。本发明在芯片托盘码放的同时实现对芯片托盘数量的检测,能够提高对芯片托盘数量的检测效率以及芯片托盘的打包效率。
技术关键词
芯片托盘
电容检测装置
端子
基准电容值
信号处理装置
检测电极
模块
端口
基座
数值
上电极
半导体
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