一种激光器的缺陷测试方法

本发明提供一种激光器的缺陷测试方法，对激光器进行正电流的光发射率测试，得到正向测试缺陷位置，对激光器进行反向偏压的光发射率测试，得到反向测试缺陷位置，通过将不同场景下的失效分析数据结合对比，有助于缺陷的准确定位；另外，获取第一光发射率图像和发光显微图像时，施加的正电流远小于阈值电流，有效避免了激光发射过程中在近场产生的大区域亮点及暗区，从而使缺陷的定位更加准确。