一种三轴磁传感器

本发明提供一种三轴磁传感器，其包括：第一各向异性磁电阻传感单元，其用于感测X轴方向的外磁场以产生X轴感测电压；第二各向异性磁电阻传感单元，其用于感测Y轴方向的外磁场以产生Y轴感测电压；反常霍尔单元，其用于感测Z轴方向的外磁场以产生Z轴感测电压；信号处理电路，其与第一各向异性磁电阻传感单元、第二各向异性磁电阻传感单元和反常霍尔单元电性连接。与现有技术相比，本发明将磁阻技术制造与反常霍尔效应相结合，采用完全的平面工艺制造三轴磁传感器，实现在同一芯片上三轴磁场的探测，且三轴敏感单元在同一层上，降低了工艺制造的难度。