长腔长的EFPI光学麦克风FP腔加工方法及EFPI光学麦克风

本发明提供了长腔长的EFPI光学麦克FP腔的加工方法，同时还提供了该EFPI光学麦克风，其突破传统工艺对长腔长结构加工的限制，使得加工得到的FP腔能够使EFPI光学麦克风具有更好的精细度并显著提升声压检测灵敏度，解决了传统EFPI光学麦克风多采用短腔长结构，在长腔长构建、环境鲁棒性及集成精度方面，存在难以满足低噪声、宽频声学检测需求的问题。其在加工FP腔时，首先确定玻璃套管的长度，通过3D增材制造技术加工出所述玻璃套管，3D增材制造过程中，振膜和反射镜相对设置并与部分玻璃套管构成FP腔，振膜和所述反射镜的相对面分别为FP腔的两个反射面。