一种晶圆的测试装置和测试方法

本发明实施例公开了一种晶圆的测试装置和测试方法。晶圆的测试装置包括：测试机、测振仪、探针台和衬底；其中，测试机与测振仪以及待测试晶圆通信连接，待测试晶圆位于衬底上，待测试晶圆和衬底放置于探针台，测振仪位于待测试晶圆的上方；衬底为不密闭的衬底，并且，衬底的底部封闭；测试机用于向待测试晶圆上的晶粒传输第一信号，以使得晶粒的振动膜振动；测振仪用于在振动膜振动时生成第二信号，测试机还用于接收第二信号，并根据第二信号和第一信号，确定待测试晶圆的状态。本发明实施例提供的晶圆的测试装置和测试方法，能够实现振动测试并保证测试可靠性。