基于光谱反射的全自动晶圆膜厚度检测方法及系统

本发明涉及半导体晶圆相关技术领域，具体包括基于光谱反射的全自动晶圆膜厚度检测方法及系统，包括：获取晶圆表面反射光谱信号，提取光谱特征信息及波长参数；识别偏振特征参数、界面干涉特征参数，引入所述波长参数作为调节变量，确定波长依赖项，生成全域膜厚分布图谱，解决了在多层薄膜或界面粗糙的检测场景中，未充分考虑入射光偏振状态对反射信号的影响，反射信号特征提取失真，反射特性反推所得的膜厚与实际膜厚存在偏离的技术问题，识别偏振特征参数与界面干涉特征参数，修正薄膜折射率后确定各检测点厚度，有效提升了厚度检测的精度，降低了光谱信号噪声及界面干扰的影响，实现了对晶圆薄膜全域膜厚分布的准确呈现的技术效果。