摘要
本发明涉及半导体技术领域,公开一种Molding功率模块嵌入热电偶的方法及芯片封装装置、系统,方法包括:获取引线框架中热电偶预设位置;根据热电偶预设位置,使用顶杆的顶头插入引线框架中;对引线框架用环氧塑封料进行第一次塑封;在塑封后的引线框架中抬升顶杆,形成热电偶的预留空间;在热电偶的预留空间上安装并封装热电偶。本发明将顶杆呈热电偶的形状的顶头在塑封过程中,留下安装热电偶的预留空间,在热电偶的预留空间上安装并封装热电偶。这样能够保证在Molding产品在安装热电偶的定位准确,也能够避免芯片开盖失败所带来的无效安装,大幅度提高了安装热电偶的效率。
技术关键词
芯片封装装置
引线框架
环氧塑封料
热电偶模块
功率模块
顶头
可伸缩机构
顶杆
视觉
空隙
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