多探头在线实时膜厚测量方法和装置

本发明公开了一种多探头在线实时膜厚测量方法和装置。本发明结合光谱检测单元的多波长分析能力和多通道并行信号特点，采用不同的平面位置对应不同的波长或中心波长，得到每一个波长的透射率，分别求得对应位置的厚度，通过多模态协同信号解析算法提高单一波长求得厚度的精度和准确度，从而通过一个光谱检测单元，同时精确获得同一个薄膜的多个不同位置的厚度，或者获得多个不同薄膜的厚度；本发明成功解决了薄膜的吸收大、透明或非透明衬底兼容、快速响应、多支路和在线实时测量难题；本发明可集成在薄膜生长设备中，对薄膜进行快速高精度测量，实现对薄膜生产的闭环控制，加快迭代速度，极大增加高质量薄膜生产的良品率，节省薄膜生产成本。