用于光学元件厚度检测的SD-OCT系统及其检测方法

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用于光学元件厚度检测的SD-OCT系统及其检测方法
申请号:CN202511388769
申请日期:2025-09-26
公开号:CN120876579B
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本发明属于光学元件检测领域,尤其涉及一种用于光学元件厚度检测的SD‑OCT系统及其检测方法,检测方法包括对待测光学元件的OCT图像进行掩膜及高斯滤波处理;采用标准差寻峰算法对经过高斯滤波的OCT图像进行峰值点检测,识别出膜层界面处的光强突变位置;对检测到的峰值点进行众数分析,确定膜层的数量;对众数分析后的峰值点进行连通域分析,过滤掉孤立的峰值点,并对缺失位置进行插值处理;对连通域分析后的峰值点进行曲线拟合,确定每个膜层的位置,并计算待测光学元件的实际厚度。本检测方法融合掩膜、高斯滤波、标准差寻峰、众数分析与连通域过滤等步骤,有效消除了伪影和噪声干扰,实现了膜层边界的精确定位。
技术关键词
厚度检测方法 OCT系统 光学元件 寻峰算法 图像 邻域 光谱仪 像素点 滤波 掩膜 光纤耦合器 光强 光源 插值法 多项式 成像 噪声 界面 曲线
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