一种薄膜太阳能电池蚀刻透光率动态控制系统及方法

本发明公开一种薄膜太阳能电池蚀刻透光率动态控制系统及方法，解决动态加工中运动平台速度波动导致蚀刻线间距不稳定、透光率偏差超标的技术问题。系统包括运动平台模块、振镜扫描模块及透光率控制单元。速度传感器实时采集平台实际速度，PID调节单元根据目标透光率预设值和实际速度计算中心间距修正量，激光频率调节模块同步按公式f=v/d调整发射频率，确保蚀刻线间距动态适配速度变化。本发明将透光率偏差稳定控制在≤3%，解决速度波动导致的透光率不稳定问题，加工效率提升40%以上，良率达99.5%，适用于碲化镉、钙钛矿等薄膜电池蚀刻。