弯曲波导结构、电光调制器和光量子计算机

本发明提供了一种弯曲波导结构、电光调制器和光量子计算机，涉及电光调制技术领域，该弯曲波导结构包括依次连接的输入波导、弯曲波导和输出波导，弯曲波导包括基底传输波导层、输入耦合部和输出耦合部，输入耦合部和输出耦合部分别设置在基底传输波导层的两端，且输入耦合部和输出耦合部之间形成有浅刻蚀沟槽，输入耦合部与输入波导连接，输出耦合部与输出波导连接。相较于现有技术，本发明通过在输入耦合部和输出耦合部之间形成浅刻蚀沟槽，从而减薄弯曲处的波导薄膜的厚度来保证基底传输波导层为单模结构，从而减小传输损耗，并且弯曲波导与输入、输出波导相对独立，因此可以独立调整弯曲波导的工艺精度，减少工艺时间，提升效率。