摘要
本发明公开了一种双芯片封装结构及其制备方法,所述方法包括:在载板上制作第一塑封层,第一塑封层中间部位进行第一大开孔;在第一大开孔制作共背极金属布线层并粘贴第一芯片,填充第一介质层;第一芯片上制作第二塑封层,第一塑封层进行第一铜柱开孔并在孔内制作第一铜柱;第一塑封层背面进行第二大开孔,粘贴第二芯片并填充第二介质层;第二介质层进行第二铜柱开孔并在孔内形成第二铜柱;制作第一布线金属层连接第二铜柱和内侧的第一铜柱;在第一塑封层下制作第三塑封层,形成第二布线金属层,连接第二芯片正面和外侧的第一铜柱;对第二塑封体开孔,制作引脚金属后形成焊盘完成封装。本发明能够提高散热效率,降低寄生效应,实现封装薄型化。
技术关键词
双芯片封装结构
金属布线层
布线金属层
背面电极
种子层
电镀工艺
介质
蚀刻
光刻胶
焊盘
正面
载板
效应
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