一种无源器件的工艺参数确定方法、尺寸优化方法、缺陷判定方法、存储介质

本发明提供一种无源器件的工艺参数确定方法、尺寸优化方法、缺陷判定方法、存储介质，包括：提供同一器件工艺下的多种不同版图尺寸的无源器件的晶圆，测试并得到无源器件的性能参数的分析结果；利用性能参数的分析结果和蒙特卡洛仿真来确定工艺参数的实际波动范围；工艺参数包括每一层材料厚度、相对介电常数和金属电导率。本发明的方法结合实际测试数据修正工艺参数的波动范围，有助于提高器件工艺的工艺参数的稳定性。