晶圆后段制程在线WAT参数预测模型训练方法及系统

本发明公开了一种晶圆后段制程在线WAT参数预测模型训练方法及系统，方法包括以下步骤：获取晶圆后段制程多个站点的历史测量参数及相应的历史WAT参数，将其输入预先构建的WAT参数预测模型中，该WAT参数预测模型过注意力机制评估各个测量参数的重要性并分配相应的注意力权重，根据注意力权重并通过递归建模算法计算出各个测量参数与相应WAT参数的相关性，按照相关性强弱顺序逐步将关键的测量参数纳入WAT参数预测模型中进行迭代训练；直到模型符合预设性能指标，得到训练好的WAT参数预测模型及筛选出的最终关键测量参数组合。本发明可提高模型的迭代效率，增加模型的预测精度。