非球面镜片激光干涉检测装调误差分离系统及方法

本申请涉及光学检测技术领域，具体为非球面镜片激光干涉检测装调误差分离系统及方法，方法包括：将非球面镜片置于装夹平台，通过调整不同俯仰角与方位角进行多次激光干涉测量，采集多角度干涉条纹图像；针对不同装调误差类型，提取典型误差条纹图像的关键特征，并与当前干涉条纹图像进行比对，实现装调误差类型与级别的识别；构建各类装调误差的数学模型，采用多项式参数化表示，根据识别结果反求装调补偿参数，完成装调调整；重复测量与分析过程，构建误差调整次数优化模型，直至满足精度要求。本申请提供的方法能提高非球面镜片装调效率与精度。