一种蒸气快速启动及关断的流体热浴蒸发装置及方法

本发明属于热浴蒸发技术领域，具体涉及一种蒸气快速启动及关断的流体热浴蒸发装置及方法；包括冷热流体交换单元、温度传感器、热浴腔体与控制系统；冷热流体交换单元的出口与热浴腔体的进口通过双通道换向阀连接；多个热浴腔体设置于坩埚外围，温度传感器设置于热浴腔体内外，蒸发源外壁包覆于所述热浴腔体的外部并设置电加热模块；控制系统包括计算模块与温度控制模块，计算模块根据材料名称自动调整介质类型与目标温度，并将结果发送至温度控制模块；温度控制模块与双通道换向阀、冷热流体交换单元、温度传感器以及蒸发源外壁的电加热模块电性连接。与现有技术比，本发明实现了热浴腔体温度的快速升降及精确稳定，抑制蒸气在外壁的冷凝损耗。