一种远程等离子体源解离率检测方法

本发明属于远程等离子体源技术领域，提供了一种远程等离子体源解离率检测方法，包括：采集远程等离子体源的红外光谱数据；将多次采集的红外光谱数据输入预训练的离子体源离化鉴别模型，分别获取特征光谱峰值，并求取特征光谱峰值的平均值；在采集过程中，通过参数调控机制补偿环境干扰，使特征光谱峰值与剩余气体浓度成正相关关系；基于特征光谱峰值的平均值计算解离率。本发明通过对远程等离子体源解离率实时监测，并由参数调控机制对环境干扰进行调控，使特征光谱峰值与剩余气体浓度形成正相关关系，便于通过特征光谱峰值替换剩余气体浓度对解离率进行求解，保证了精度，适用于半导体工艺中多元素气体等离子体解离率检测的实时闭环控制。