摘要
本发明涉及一种基于ALPG测试系统的芯片智能化检测方法及系统,属数据识别分析聚类技术领域。该方法从基于ALPG测试系统获取的已确定芯片缺陷的历史数据中选取芯片缺陷检测次序构成缺陷数据集,对可反映芯片缺陷的缺陷存储单元在缺陷数据集中的分布特征构建缺陷产生可信度排除环境噪声对芯片缺陷判断干扰,结合芯片缺陷产生时各性能参数变化情况确定其对缺陷敏感度,然后以存储单元的位置、缺陷产生可信度、对缺陷的敏感度、性能参数取值对缺陷数据聚类得到聚类簇,将当前检测次序下检测数据与聚类簇对比完成当前芯片检测。本方法可在ALPG测试系统的基础上自动且准确地识别芯片的缺陷类型,提高ALPG测试芯片检测的效率。
技术关键词
智能化检测方法
缺陷存储单元
数据
芯片缺陷检测
聚类技术
识别芯片
分布特征
频率
存储器
处理器
批量
指令
基础