一种加速度传感系统及其测量方法

本发明公开了一种加速度传感系统及其测量方法，属于光学加速度传感技术领域。本发明通过激光光源模块输出线偏振光至换能模块，换能模块包含MEMS换能结构和超表面单元，超表面单元将入射的线偏振光分解为左旋和右旋圆偏振光，并引入与位移相关的初始相位调制。反射光模块将两束圆偏振光反射回超表面单元，使其二次通过，实现相位调制的倍增，相位调制量提升至单次通过的8倍。光电探测模块将出射光转换为两路正交电信号，信号处理单元通过正交补偿算法消除非理想误差，再经正交解调算法解算出位移量，进而获得加速度信号。本发明兼具高灵敏度、大动态范围和优良的低频响应，适用于微振动监测等精密测量场景。