金属曲面光栅三维轮廓宏微跨尺度表征方法及系统

本发明公开了一种金属曲面光栅三维轮廓宏微跨尺度表征方法及系统，本发明方法包括基于被测金属曲面衍射光栅的子孔径拼接测量的原始数据重建被测金属曲面衍射光栅的全局三维形貌数据；进行频域滤波分离为微观衍射结构表面数据和宏观基底面形数据；对宏观基底面形数据进行迭代最近点面形配准计算光栅基底面形误差；对微观衍射结构表面数据进行二维Gabor滤波以计算光栅周期的均值与标准差，进行局部平面最小二乘拟合计算光栅周期及闪耀角的空间分布；将宏观基底面形数据的和微观衍射结构表面数据的处理结果作为三维轮廓跨尺度表征结果输出。本发明旨在针对金属曲面衍射光栅微结构，同时实现对曲面光栅宏观基底和微观衍射结构的高精度表征。