摘要
本公开实施例提供一种多层堆叠芯片封装方法及封装结构,该封装方法包括:将多个芯片依次堆叠设置于基板,形成芯片封装模组;提供塑封治具,塑封治具包括第一模具以及与第一模具相匹配的第二模具,将金属层铺设于第一模具内;在金属层上形成具有预设厚度的第一塑封层;将芯片封装模组中最上层芯片放置于第一塑封层;将第二模具盖设于第一模具,形成包裹芯片封装模组的第二塑封层;去除塑封治具,得到多层堆叠芯片封装结构。通过该方法将金属层形成于整个芯片封装结构中的塑封层表面,避免超薄金属层在贴装过程中的传送和定位问题,提高超薄芯片封装结构的强度,提升超薄芯片封装结构的可靠性。
技术关键词
芯片封装模组
多层堆叠芯片
封装方法
模具
超薄芯片
芯片封装结构
注塑成型工艺
撒粉设备
超薄金属
导电胶层
定位问题
离型膜
基板
粉末
包裹
强度
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