摘要
本发明公开了一种基于物镜转盘的多波段成像装置,包括红外相机、屏幕、物镜转盘、第一镜头、第二镜头、可见光相机、可见光光路组件;红外相机通过支架与物镜转盘相连,屏幕固定在红外相机的前方;可见光相机及可见光光路组件通过螺丝固定在红外相机的侧方,可见光光路组件内设有两片反射镜;第一镜头和第二镜头均设置在物镜转盘上,物镜转盘可绕自身轴线旋转以切换第一镜头和第二镜头至前方中间位置,本发明涉及芯片失效分析检测技术领域。本发明,解决传统芯片失效分析检测设备中可见光成像部分与红外探测部分为分开模块导致的结构复杂、使用流程繁琐以及芯片探针接触操作不便的问题。
技术关键词
可见光相机
红外相机
镜头
物镜
成像装置
芯片失效分析
齿轮齿条结构
直线模组
反射镜
屏幕
探针
螺丝
驱动齿条
分辨率
无损耗
多波段
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