一种确定光刻工艺窗口的方法

一种确定光刻工艺窗口的方法，该方法包括：获取光刻版图和光刻工艺信息，基于所述光刻版图和所述光刻工艺信息建立光学模型；基于所述光学模型对所述光刻版图中预设的标准监测图形进行仿真，以得到最佳曝光参数；基于所述最佳曝光参数和所述光学模型，对所述光刻版图中的多个候选图形进行仿真，得到所述多个候选图形的仿真工艺窗口；基于所述仿真工艺窗口确定所述多个候选图形中的工艺热点图形；基于所述标准监测图形和所述工艺热点图形进行线上量测，以得到所述标准监测图形和所述工艺热点图形的共同工艺窗口。本发明通过光刻模型仿真减少线上量测的工作量，并提高工艺窗口监测的准确性。