干涉仪误差校准方法、装置以及计算机可读存储介质

本申请公开了一种干涉仪误差校准方法、装置以及计算机可读存储介质，属于测量设备技术领域，所述方法包括：获取干涉仪在运动台x/y轴运动时采集的测量数据，经计算处理生成x/y轴补偿量；同时利用布置在运动台上的标记板数据，建立坐标系转换矩阵并优化处理，得到xy轴非正交参数。随后将补偿量和非正交参数输入预设运动学模型，实时计算运动台在全局坐标系下的精确位置。当满足预设更新条件时，通过视觉系统检测的实际位置与计算位置的偏差，动态更新干涉仪误差补偿值。本申请将反射镜面型误差补偿与非正交参数校正相融合，实现了干涉仪的高精度误差补偿校准。