摘要
本申请是关于一种芯片输送装置及输送方法,该芯片输送装置包括并排布置的第一输送机构、第二输送机构、第三输送机构、第四输送机构和第五输送机构,第一输送机构用于输送空载的第一托盘,第二输送机构用于对装载有待检芯片的第二托盘进行输送,并对来自第一输送机构的第一托盘进行转运,第三输送机构和第四输送机构分别用于对来自第二输送机构的第一托盘进行输送,第五输送机构用于对来自第一输送机构的第一托盘进行输送,通过第三输送机构和第五输送机构分别对应输出合格芯片和不良芯片。本申请的芯片输送装置能够用于对多模态检测场景下的芯片进行输送。
技术关键词
芯片输送装置
托盘
转运工位
顶升组件
盘组件
轨道
输送方法
夹盘结构
限位件
抓取设备
压轮组件
上料架
支架
支撑件
定位组件
翻转设备
调节件
搬运组件