一种Micro LED外延石墨载盘制造方法及系统

本发明公开了一种Micro LED外延石墨载盘制造方法及系统，该方法包括：同步采集Micro LED晶圆的晶圆数据，构建晶圆坐标系；对同一位置坐标点对应的PL波长与COT波长进行加权计算，输出三维点云数据集并存储以得到目标数据；读取目标数据，提取晶圆坐标数据与波长差数据；确定出多个热场等级，并与对应颜色标识进行绑定，得到热场等级图；计算各个热场区域内热场分布的欧式距离相似度并进行分组，对应输出补偿策略数据；对石墨载盘的设计进行深度补偿，映射输出图纸数据；根据图纸数据对石墨载盘进行加工。本发明根据三维热场图协同设计，映射输出对应的三维设计图纸，并验证图纸形成闭环，能够实现晶圆热膨胀的实时补偿，有利于批量生产的进行。