摘要
本发明提供一种发光二极管芯片的制备方法,制备方法包括:提供一蓝宝石衬底,在蓝宝石衬底上依次沉积N型半导体层、有源发光层以及P型半导体层作为外延层;在P型半导体层上制备N型半导体层导电台阶;在P型半导体层上制备电流扩展层;在电流扩展层上制备电流阻挡层,接着在电流阻挡层上制备电流阻挡层通孔;在电流阻挡层上制备第一半导体层;对蓝宝石衬底进行减薄,接着激光剥离减薄后的蓝宝石衬底,暴露出N型半导体层底部上的PSS;在N型半导体层底部的PSS上制备隔离槽;在N型半导体层底部的PSS上制备第二绝缘层;在第二绝缘层上制备第二绝缘层通孔,然后在第二绝缘层通孔上制备P型焊盘。
技术关键词
电流阻挡层
发光二极管芯片
半导体层
功率
蓝宝石衬底
电流扩展层
有源发光层
电感耦合等离子体
外延
P型焊盘
导电金属层
刻蚀深度
刻蚀工艺
反射金属层
通孔
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