一种半导体芯片镀膜装置及镀膜方法

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正文
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一种半导体芯片镀膜装置及镀膜方法
申请号:CN202511418777
申请日期:2025-09-30
公开号:CN120905637B
公开日期:2025-12-16
类型:发明专利
摘要
本发明属于半导体技术领域,具体的说是一种半导体芯片镀膜装置及镀膜方法,包括工作台,所述工作台的上端面转动设置有镀膜盘,所述镀膜盘的上端面固定安装有多个呈圆周阵列设计的支撑架,每个所述支撑架的内侧均设置有吸附管,每个所述支撑架的上方均设置有芯片本体,所述吸附管用于吸附芯片本体的下端面,所述工作台的侧方且位于镀膜盘的侧壁安装有镀膜架,所述镀膜架的端面设置有镀膜头;控制器控制镀膜盘停止转动,并控制镀膜头向靠近芯片本体的一侧移动,之后镀膜头会在芯片本体的上端面以及四周处进行镀膜处理;通过触点一和触点二的设计,在二者相互接触时,其中一组芯片本体能刚好移动到镀膜头下方。
技术关键词
半导体芯片 镀膜装置 镀膜方法 镀膜架 工作台 吸附管 触点 磁性板 外接控制器 环形 阵列 管道 磁性块 伸缩柱 外周面 方形 橡胶
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