摘要
本发明属于半导体技术领域,具体的说是一种半导体芯片镀膜装置及镀膜方法,包括工作台,所述工作台的上端面转动设置有镀膜盘,所述镀膜盘的上端面固定安装有多个呈圆周阵列设计的支撑架,每个所述支撑架的内侧均设置有吸附管,每个所述支撑架的上方均设置有芯片本体,所述吸附管用于吸附芯片本体的下端面,所述工作台的侧方且位于镀膜盘的侧壁安装有镀膜架,所述镀膜架的端面设置有镀膜头;控制器控制镀膜盘停止转动,并控制镀膜头向靠近芯片本体的一侧移动,之后镀膜头会在芯片本体的上端面以及四周处进行镀膜处理;通过触点一和触点二的设计,在二者相互接触时,其中一组芯片本体能刚好移动到镀膜头下方。
技术关键词
半导体芯片
镀膜装置
镀膜方法
镀膜架
工作台
吸附管
触点
磁性板
外接控制器
环形
阵列
管道
磁性块
伸缩柱
外周面
方形
橡胶