一种振镜动态飞行拼接加工系统及方法

本发明公开一种振镜动态飞行拼接加工系统及方法，属于薄膜太阳能电池制造技术领域。系统包括运动平台模块、振镜扫描模块及运动同步控制模块。运动平台带动衬底沿Y轴以恒定速度连续移动；路径规划单元将衬底划分为50×50mm²矩形视场单元并生成蛇形扫描路径；运动同步控制模块通过编码器实时采集位移数据，PLC控制器在拼接边界±50μm过渡区控制激光能量从100%线性衰减至95%，实现提前触发与无缝拼接。本发明通过运动平台模块的连续移动、振镜扫描模块的精准激光蚀刻、运动同步控制模块的实时协同，有效解决了传统加工效率低、拼接精度不足、动态同步性差的问题，为薄膜太阳能电池的大规模高精度制造提供了可行方案。