摘要
本发明提供了一种衬底互连封装方法和衬底互连封装结构,涉及芯片封装技术领域,该方法在基底线路层上形成光敏层,再去除部分光敏层后形成第一开口。然后在第一开口内形成堆叠线路层,再去除残留的光敏层形成第二开口,在第二开口内贴装第一芯片并形成第一包封层。然后贴装第二芯片并形成第二包封层,剥离载具后沿切割道切割,切割道可以沿堆叠线路层的中线和/或边缘,也可以沿第一包封层的中线和/或边缘。相较于现有技术,本发明在第一开口和第二开口内形成不同类型的封装结构,能够设置不同类型的封装产品,而在切割时,切割道能够沿不同位置进行切割,使得通过不同的切割手段能够产生不同类型的封装产品,提升了多样性。
技术关键词
线路
包封
基底
封装方法
导电柱
封装结构
衬底
芯片封装技术
正面
涂覆