衬底互连封装方法和衬底互连封装结构

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衬底互连封装方法和衬底互连封装结构
申请号:CN202511430511
申请日期:2025-10-09
公开号:CN120914118A
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种衬底互连封装方法和衬底互连封装结构,涉及芯片封装技术领域,该方法在基底线路层上形成光敏层,再去除部分光敏层后形成第一开口。然后在第一开口内形成堆叠线路层,再去除残留的光敏层形成第二开口,在第二开口内贴装第一芯片并形成第一包封层。然后贴装第二芯片并形成第二包封层,剥离载具后沿切割道切割,切割道可以沿堆叠线路层的中线和/或边缘,也可以沿第一包封层的中线和/或边缘。相较于现有技术,本发明在第一开口和第二开口内形成不同类型的封装结构,能够设置不同类型的封装产品,而在切割时,切割道能够沿不同位置进行切割,使得通过不同的切割手段能够产生不同类型的封装产品,提升了多样性。
技术关键词
线路 包封 基底 封装方法 导电柱 封装结构 衬底 芯片封装技术 正面 涂覆
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