摘要
本发明属于半导体封装设备技术领域,具体涉及一种贴合头,尤其涉及一种芯片生产用贴合机构及其贴合方法。其中,芯片生产用贴合机构,通过在对接模块上开设分流通道,以使物料吸附通道内的气流能够分流至分流通道内,通过分流通道内的抵持模块伸入抵持槽以抵持吸嘴模块,从而实现快速安装,同时由于吸嘴模块和对接槽间隙配合,且吸嘴模块的顶面与对接槽槽顶之间存在间隙,从而物料吸附通道间歇性通气的时候,吸嘴模块会被间歇性抬起,从而吸嘴模块产生抖动,以抖落吸嘴模块与对接槽之间的水汽,避免顶丝的使用为吸嘴模块的拆装提供便利,同时保证吸嘴模块的安装区域不会生锈卡死。
技术关键词
吸嘴模块
贴合机构
对接模块
控制模块
通道
加热片
贴合方法
芯片
接头
压力传感器
温度传感器
斜面
导流环
半导体封装设备
腔体
内腔
插接杆
滑块
加热模块