芯片生产用贴合机构及其贴合方法

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芯片生产用贴合机构及其贴合方法
申请号:CN202511431261
申请日期:2025-10-09
公开号:CN120998827A
公开日期:2025-11-21
类型:发明专利
摘要
本发明属于半导体封装设备技术领域,具体涉及一种贴合头,尤其涉及一种芯片生产用贴合机构及其贴合方法。其中,芯片生产用贴合机构,通过在对接模块上开设分流通道,以使物料吸附通道内的气流能够分流至分流通道内,通过分流通道内的抵持模块伸入抵持槽以抵持吸嘴模块,从而实现快速安装,同时由于吸嘴模块和对接槽间隙配合,且吸嘴模块的顶面与对接槽槽顶之间存在间隙,从而物料吸附通道间歇性通气的时候,吸嘴模块会被间歇性抬起,从而吸嘴模块产生抖动,以抖落吸嘴模块与对接槽之间的水汽,避免顶丝的使用为吸嘴模块的拆装提供便利,同时保证吸嘴模块的安装区域不会生锈卡死。
技术关键词
吸嘴模块 贴合机构 对接模块 控制模块 通道 加热片 贴合方法 芯片 接头 压力传感器 温度传感器 斜面 导流环 半导体封装设备 腔体 内腔 插接杆 滑块 加热模块
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