一种用于镀膜机的运行状态监测方法

本申请涉及数据处理技术领域，尤其涉及一种用于镀膜机的运行状态监测方法，方法包括：获取镀膜过程的传感器时序数据，并结合成品质量数据和工件几何模型识别出关键几何区域；构建评估多参数协同状态的工艺轨迹健康指标，并构建融合了关键几何区域温度与工艺健康状态的几何热应力累积指标；将两个指标与常规统计特征结合，训练回归模型以预测镀膜质量。通过本申请的技术方案，能够有效识别隐蔽性时序故障，显著提高了镀膜运行状态监测的准确性和可靠性。