MEMS加速度计离心测试结构、系统及方法

本发明公开了MEMS加速度计离心测试结构、系统及方法，该结构包括离心转接工装、离心测试工装转台、测试转接工装、芯片测试板及多个夹具机构；该系统包括离心机转台和八个上述的MEMS加速度计离心测试结构；该方法适用于上述的MEMS加速度计离心测试系统中，实现加速度计芯片的测试及满量程标定，得到零偏、非线性度的指标，及对加速度计芯片交叉轴串扰评估；通过测试工装转台免拆卸实现加速度计满量程的正反向测试；十字形测试板配X、Y向夹具，可测X、Y、X‑Y双轴加速度计并评估交叉轴串扰，通用性强；夹具集成于电路板，防线缆损坏更安全；结构集成适配批量生产，夹具易安装且兼容多管壳尺寸，进一步提高试验效率。