一种MASK掩膜版版叉运输工装

本发明涉及掩膜版运输技术领域，具体为一种MASK掩膜版版叉运输工装，包括转运机械臂，所述转运机械臂上设置有掩膜版，所述掩膜版包括与所述转运机械臂一端相连接的固定框，所述固定框的一侧对称设置有两个运输夹板，所述运输夹板上固定安装有通过多个螺钉固定连接的固定杆，所述固定杆的一侧上设置有通过多个螺钉固定连接的运输托举杆。本发明通过掩膜版的设置，能够在对掩膜版托举运输时，减少与掩膜版之间的接触面积，避免掩膜版受到污染与划伤，进一步的防止了掩膜版的加工过程中的图形区域、光线分布以及透光率和反射率受到影响，保证了掩膜版的加工质量和精度。