一种仪表芯片加工用刻蚀装置

本发明公开了一种仪表芯片加工用刻蚀装置，包括壳体，所述壳体上固定设置有顶板，所述顶板通过两个撑杆与壳体的上壁相连接，所述顶板上固定设置有电机，所述电机的输出端固定连接设置有转杆，所述转杆转动贯穿顶板设置，所述壳体上设有上端开口的空腔，所述转杆延伸至空腔内设置，所述壳体内滑动设置有升降台，所述升降台通过两个滑杆滑动设置在壳体的空腔内，所述升降台上设有芯片夹持机构，且所述升降台上转动设置有套环，所述套环套设在转杆上。本发明能够持续的对刻蚀溶液进行搅拌，提高刻蚀的速率，且能够持续的对壳体进行撞击振动，产生振动波，使得刻蚀溶液内产生微小空泡带走硅片表面的杂质，提高刻蚀的效果。